高効率微粒子アレスタ (HEPA) は、元々は高効率微粒子吸収装置と呼ばれていましたが、高効率微粒子阻止または高効率微粒子阻止とも呼ばれることもあり、エア フィルタの一種です。HEPA規格を満たすフィルターは、IC製造用のクリーンルーム、医療施設、自動車、航空機、家庭での使用など、多くの用途に使用されています。フィルターは、米国エネルギー省 (DOE) によって設定されたものなど、特定の効率基準を満たさなければなりません。 何が HEPA フィルターとして適格であるかは、さまざまな規格によって定義されています。最も一般的な 2 つの規格では、エア フィルターが 0.3 μm 以上の粒子を (通過する空気から) 99.95% (欧州規格) または 99.97% (ASME 規格) [5] 除去する必要があります。